Вакуум манипуляторлары вакуум палаталарындагы әйберләрне яки әйберләрне күчерү яки урнаштыру өчен һәм материал эшкәртү өчен кулланыла. Алар сыгылучылыкны арттыралар, чөнки каты сылтамалар кулланылмый. Кайбер вакуум манипуляторларына монтаж җайланмалары яки ахыр эффекторлар керә. Бүтәннәргә йөк йозаклары һәм вобль таяклар керә. Еш кына вакуум манипуляторлары вакуум камералары белән берлектә кулланыла. Вафер эшкәртүчеләр яки роботлар - вакуум манипуляторларының автоматлаштырылган төре, вафер яки субстратларны PVD, CVD, плазма эфиры яки башка вакуум эшкәртү палаталарына күчерү өчен. Вакуум камерасын булдыру өчен, вакуум мотор яки вакуум мотор физик яктан корабтан һаваны кирәкле суб-атмосфера басымына ирешкәнче суырта. Әгәр вакуум камерасында ультра югары вакуум булса, ультра югары вакуум манипуляторы һәм ультра югары вакуум моторы кулланылырга тиеш.
1. Сорауның уникаль дизайны объектны үз теләге белән күтәрергә яки егылырга мөмкин, шулай ук операцияне уңайлы һәм төгәл итәр өчен, сорау урынының теләсә нинди юнәлешендә әйләнергә мөмкин. Дистанцион контроль дизайн операциягә уңайлыклар китерә һәм кулланучыларның куркынычсызлыгын тәэмин итә.
2. Вакуум сорау машинасының кысылуы читтән кертелгән сорау тәлинкәсен кабул итә, көчле adsorption көче, югары куркынычсызлык һәм продуктларны зыяннан саклау.
3. Вакуум кран эффективлыкны күтәрү, эшче көчен киметү һәм предприятия чыгымнарын экономияләү өчен ватык, күтәрү авыр, шома өслек белән әйберләрне җиңел йөртә ала.